초록

Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
- 3차원 T-ray 토모그래피 스캐너용 0.2 THz파 Lens와 Antenna 개발
- 3차원 T-ray 토모그래피 스캐너용 0.2 THz파 Diode Detector 개발
- 고출력 THz파 신호원을 위한 0.2 THz파 MEMS 격자회로 개발
- 배열 센서 기반 3차원 T-ray 토모그래피 스캐너 개발

Abstract

Ⅲ. Contents and Scope of the Study
- Development of 0.2 THz Lens and Antenna
- Development of 0.2 THz Diode Detector
- Development of 0.2 THz MEMS Grating Circuit
- Development of 3D T-ray Tomography Scanner Adopting Array Detector

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 보고서 초록 ... 3
• 요약문 ... 4
• SUMMARY ... 6
• CONTENTS ... 8
• 목차 ... 10
• 제1장 연구개발 과제의 개요 ... 12
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 14
• 제1절 국내외 기술개발 현황 ... 14
• 제2절 산업 동향 ... 15
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 16
• 제1절 0.2 THz파 Lens와 Antenna 개발 ... 16
• 1. 0.2 THz파 Toroid/Sphere Lens 설계/제작 ... 16
• 2. 0.2 THz Antenna 3D EM 시뮬레이션 설계/Electroforming 제작 ... 19
• 제2절 0.2 THz파 Diode Detector 개발 ... 22
• 1. Nano-dot Schottky Diode 공정 Process 개발 ... 22
• 2. Nano-dot Schottky Diode 제작/특성 측정 ... 26
• 제3절 0.2 THz파 MEMS 격자회로 개발 ... 29
• 1. 0.2 THz파 MEMS 격자회로 공정 Process 개발 ... 29
• 2. 0.2 THz파 MEMS 격자회로 제작 ... 32
• 제4절 배열 센서 기반 3차원 T-ray 토모그래피 스캐너 개발 ... 34
• 1. 고속 토모그래피 영상을 위한 배열 센서 검출기 제작 ... 34
• 2. N = 5 배열 센서 기반 3차원 T-ray 토모그래피 스캐너 개발 ... 36
• 제4장 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 39
• 제1절 목표 달성도 ... 39
• 제2절 연구결과의 관련분야에의 기여도 ... 39
• 제5장 연구개발 결과의 활용 계획 ... 40
• 제6장 참고 문헌 ... 41