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NTIS 바로가기주관연구기관 | 홍익대학교 Hongik University |
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연구책임자 | 오태성 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300033814 |
과제고유번호 | 1345169782 |
사업명 | 기본연구지원사업(유형I) |
DB 구축일자 | 2014-01-13 |
본 연구에서는 열전박막을 이용한 마이크로 열전소자에 관한 기반기술을 구축하기 위해, p형 Sb2Te3 박막과 n형 Bi2Te3 박막의 진공증착 기술 및 열처리 기술을 확립하고 이를 기반으로 in-plane형 마이크로 열전소자와 cross-plane형 마이크로 열전소자의 공정기술을 수립하였다.
1차년도 연구에서는 in-plane 마이크로 열전소자와 cross-plane 마이크로 열전소자의 공정기술 확립을 위한 기초 연구로서, 증착공정 변수 및 열처리
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