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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인하대학교 산학협력단 InHa University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-06 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 Ministry of Education and Science Technology(MEST) |
등록번호 | TRKO201300033947 |
과제고유번호 | 1345171699 |
사업명 | 일반연구자지원 |
DB 구축일자 | 2014-01-13 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201300033947 |
(1) 알콜계 가스를 이용한 자성박막 및 MTJ stack의 식각 공정 개발 및 식각 메커니즘 규명
식각 후 박막의 부식을 유발하는 염소계 가스를 사용하는 방법의 단점들을 개선하면서 식각 특성을 향상시키기 위한 목적으로 식각 가스로 알콜계 가스를 사용하고 그 식각 특성을 연구하였다. 액상 알콜을 식각 가스로 이용하기 위하여 버블러와 고온용 MFC 그리고 히팅라인으로 구성된 gas delivery system을 설치하였다. 이를 통해 기화된 알콜계 액체소스는 기존에 사용되던 가스와 같이 MFC로 유량을 조절해 챔버 내부로 유입되
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