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NTIS 바로가기주관연구기관 | 영남대학교 YeungNam University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 Ministry of Education and Science Technology(MEST) |
등록번호 | TRKO201300033973 |
과제고유번호 | 1345173145 |
사업명 | 일반연구자지원 |
DB 구축일자 | 2014-01-13 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201300033973 |
일반적으로, 루테늄의 원자층 증착법은 Ru의 산화수가 2인 Cp (cyclopentadienyl)계열의 금속 선구체인 Biscyclopentadienyl ruthenium(II) (RuCp2), 또는 Bis(ethylcyclopentadienyl) ruthenium(II) (Ru(EtCp)2)를 이용하거나 산화수가 3인 beta-diketonate 계열의 선구체인 tristetramethyl-heptane-dionate ruthenium (III)(Ru(thd)3)를 이용하
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