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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경희대학교 Kyung Hee University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 Ministry of Education and Science Technology(MEST) |
등록번호 | TRKO201300035236 |
과제고유번호 | 1345169797 |
사업명 | 일반연구자지원 |
DB 구축일자 | 2013-12-21 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201300035236 |
<온도변화 유전율함수 측정을 위한 광역 에너지 타원편광 시스템 구축>
본 연구과제의 연구장비지원금을 통하여 (4×4) Muller matrix 를 측정할 수 있는 RC2 의 광원부를 구매하여, 기존에 구축된 타원편광분석 시스템과 저온 cryostat 에 적용하여, 온도범위 22 - 700K, 에너지 범위 0.74 - 6.5 eV 의 광역에너지 온도측정 타원편광분석 시스템을 구축하였다. 또한, 반도체 시료의 표면 산화막은 시료의 순수한 광물성 측정을 어렵게 하기 때문에 실시간으로 시료의 표면 산화막을 제거하고, 산화막 생성 등의
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