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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인하대학교 InHa University |
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연구책임자 | 조명우 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-03 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 지식경제부 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술진흥원 |
등록번호 | TRKO201300036435 |
과제고유번호 | 1415128310 |
사업명 | 산업전문인력역량강화 |
DB 구축일자 | 2013-12-21 |
키워드 | 직접패터닝.마스크리스 리소그래피.인쇄회로기판.반도체.노광시스템.Direct Patterning.Maskless Lithography.Printed Circuit Board.Semiconductor.Exposure System. |
1. 사업목표 및 내용
ㅇ 본 사업에서는 직접 패터닝 시스템 개발 및 기반 기술 확보를 위하여 주관 기관인 4개의 실험실과 참여기업 간의 컨소시엄 구성 및 각 구성 주체들 간의 유기적인 기술교류 및 공동연구를 통하여 관련 업계에 공헌할 수 있는 최고 수준의 석·박사급 전문연구인력 양성을 목표로 사업을 진행함. 반도체, PCB, 평판 디스플레이 등의 핵심 부품 제작에 있어 기존의 마스크 방식의 패턴 제조 방식의 한계를 극복하여 마스크 없이 직접 패턴을 제조하는 직접 패터닝 시스템 개발을 개발하였고 이를 위해 광학, 제어, 시스템
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