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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 홍원석 |
참여연구자 | 신완호 , 송동근 , 민태진 , 김규진 , 김창수 , 유상열 , 송성석 , 김상우 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-01 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
사업 관리 기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
등록번호 | TRKO201400003497 |
과제고유번호 | 1711009089 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2014-05-07 |
키워드 | 오존.미세기포.습식세정.기액혼합장치.유기발광체.ozone.ultra fine bubble.wet cleaning.gas/liquid mixing.OLED. |
○ 반도체, 디스플레이 분야에서 연속적으로 진행되는 생산 공정의 세정 기술들은 다양하게 연구 개발되어 있는 반면에, 곡면을 지닌 반응기 및 용기류의 세정은 산세정, 세정제 및 유기용제를 이용한 수작업으로 수행하고 있다.
○ 본 연구에서는 오존 미세기포를 이용하여 OLED 승화 정제공정에서 발생되는 오염된 반응기 내부에 부착되어 있는 유기성오염물질을 세정하는 장치를 개발하여 상용화 하였다.
○ 개발된 습식세정 시스템은 기액혼합장치, 미세기포 발생 장치, 오존발생장치 등의 개별적인 유닛으로 단순화 하여 구성하였다.
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A novel process for the wet cleaning using ozone micro bubbles has been developed. It has been designed for technological simplicity and eco-friendly cleaning equipment.
Numerous cleaning technologies for semi-conductor and display industry using various methods have been developed and commercial
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