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오존 마이크로 기포를 이용한 OLED 공정용 습식세정장비 개발

Development of Wet Cleaning System using Ozone Micro-Bubble for OLED Manufacturing Process

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 홍원석
참여연구자 신완호 , 송동근 , 민태진 , 김규진 , 김창수 , 유상열 , 송성석 , 김상우
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2014-01
과제시작연도 2013
주관부처 미래창조과학부
KA
사업 관리 기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
등록번호 TRKO201400003497
과제고유번호 1711009089
사업명 한국기계연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2014-05-07
키워드 오존.미세기포.습식세정.기액혼합장치.유기발광체.ozone.ultra fine bubble.wet cleaning.gas/liquid mixing.OLED.

초록

○ 반도체, 디스플레이 분야에서 연속적으로 진행되는 생산 공정의 세정 기술들은 다양하게 연구 개발되어 있는 반면에, 곡면을 지닌 반응기 및 용기류의 세정은 산세정, 세정제 및 유기용제를 이용한 수작업으로 수행하고 있다.
○ 본 연구에서는 오존 미세기포를 이용하여 OLED 승화 정제공정에서 발생되는 오염된 반응기 내부에 부착되어 있는 유기성오염물질을 세정하는 장치를 개발하여 상용화 하였다.
○ 개발된 습식세정 시스템은 기액혼합장치, 미세기포 발생 장치, 오존발생장치 등의 개별적인 유닛으로 단순화 하여 구성하였다.

Abstract

A novel process for the wet cleaning using ozone micro bubbles has been developed. It has been designed for technological simplicity and eco-friendly cleaning equipment.
Numerous cleaning technologies for semi-conductor and display industry using various methods have been developed and commercial

목차 Contents

  • 표 지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 초록 ... 3
  • 요 약 문 ... 4
  • S U M M A R Y ... 6
  • C O N T E N T S ... 7
  • 목 차 ... 8
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 9
  • 제 1 절 연구개발의 필요성 ... 9
  • 제 2 절 연구개발의 목표 및 내용 ... 13
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 14
  • 제 1 절 국내ㆍ외 연구 개발 내용 ... 14
  • 제 2 절 연구개발의 차별성 ... 15
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 18
  • 제 1 절 개요 ... 18
  • 제 2 절 연구개발 수행 내용 ... 19
  • 제 3 절 연구개발 결과 ... 35
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 37
  • 제 1 절 목표 달성도 및 연구 성과 ... 37
  • 제 2 절 기대되는 성과(예상효과) 및 활용계획 ... 38
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 39
  • 제 6 장 참고문헌 ... 41
  • 끝페이지 ... 42

표/그림 (36)

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참고문헌 (25)

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