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    따른 핵심전략기술 관련 연구개발과제를 수행한 경우
3. 법 제21조제2항에 따라 보안과제로 분류된 연구개발과제를 수행한 경우
4. 연구개발기관의 장이 해당 연구개발성과에 대하여 지식재산권을 취득
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오존 마이크로 기포를 이용한 OLED 공정용 습식세정장비 개발

Development of Wet Cleaning System using Ozone Micro-Bubble for OLED Manufacturing Process

보고서상세정보
과제명 오존 마이크로 기포를 이용한 OLED 공정용 습식세정장비 개발
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 홍원석
참여연구자 신완호, 송동근, 민태진, 김규진, 김창수, 유상열, 송성석, 김상우
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2014-01
과제시작년도 2013
주관부처 미래창조과학부
KA
사업 관리 기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
등록번호 TRKO201400003497
과제고유번호 1711009089
사업명 한국기계연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2014-05-07
키워드 오존.미세기포.습식세정.기액혼합장치.유기발광체.ozone.ultra fine bubble.wet cleaning.gas/liquid mixing.OLED.
초록
▼

○ 반도체, 디스플레이 분야에서 연속적으로 진행되는 생산 공정의 세정 기술들은 다양하게 연구 개발되어 있는 반면에, 곡면을 지닌 반응기 및 용기류의 세정은 산세정, 세정제 및 유기용제를 이용한 수작업으로 수행하고 있다.
○ 본 ...

Abstract
▼

A novel process for the wet cleaning using ozone micro bubbles has been developed. It has been designed for technological simplici...

목차
Contents
▼

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표 / 그림 (36)

참고문헌

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