초록 ▼

개발목표
계 획
◦ 천연가스의 안전감시를 위한 PLC형광센서 기술 개발
◦ 가스채색 물질의 고품질 나노박막 형성 기술 개발
◦ PLC 소자와 가스채색 나노박막 물질을 결합한 광센서 제작 기술 개발
실 적
◦ Silica 공정과 SnO₂ 박막 공정 개발
◦ PLC 소자와 SnO₂ 나노 박막을 이용한 광센서 제작
◦ 가스 측정시스템을 구축 및 CH₄ 가스에 대한 감지 특성 측정
정량적 목표항목 및 달성도
1. 가스채색 물질

개발목표
계 획
◦ 천연가스의 안전감시를 위한 PLC형광센서 기술 개발
◦ 가스채색 물질의 고품질 나노박막 형성 기술 개발
◦ PLC 소자와 가스채색 나노박막 물질을 결합한 광센서 제작 기술 개발
실 적
◦ Silica 공정과 SnO₂ 박막 공정 개발
◦ PLC 소자와 SnO₂ 나노 박막을 이용한 광센서 제작
◦ 가스 측정시스템을 구축 및 CH₄ 가스에 대한 감지 특성 측정
정량적 목표항목 및 달성도
1. 가스채색 물질 두께 정밀도 3 nm / 2. 실리카 박막 두께 정밀도 0.2 ㎛ / 3. 실리카 Deep etching 정밀도 0.2 ㎛ / 4. 가스감지불확도 <1% / 5. 감지시간 10 sec / 6. 회복시간 25 min
기대효과
◦ 광 기반 센서 및 시스템은 특수선박의 핵심부품 중의 하나로서 특수선박 건조를 위해서 반드시 확보되어야 하는 제품 및 기술로서 해외 기술 및 제품에 대한 대체효과가 기대됨
◦ 천연가스 저장탱크 및 배관의 핵심부품 상용화에 의한 1차적인 부품 수출과 더불어 국내 천연가스 운반선에 적용함으로써 2차적인 수출 증가가 기대됨
적용분야
◦ 광 기반 안전 감시 시스템기술은 친환경 가스의 생산/저장/배송에 관련된 에너지, 환경 플랜트 부품산업 및 SOC 안전감시 등에 적용
◦ 가스 저장 및 수송, 사용매체에 대한 안전 감시 스마트 센서 시스템으로 활용