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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 이재종 |
참여연구자 | 임형준 , 최기봉 , 김기홍 , 이성휘 , 박수연 , 박현하 , 류지형 , 정미라 , 안현진 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-11 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201400006452 |
과제고유번호 | 1345182156 |
사업명 | 나노·소재기술개발 |
DB 구축일자 | 2014-05-31 |
키워드 | 용액전사임프린트.나노임프린트.다층패터닝.롤 스템프.롤 나노임프린트.Liquid Transfer Imprint.Nanoimprint.Multi-layer patterning.Roll stamp.Roll-nanoimprint. |
본 사업에서 개발할 기술은 기존에 개발된 다층 나노임프린트장비 원천기술을 이용하여 6인치크기의 나노패턴을 연속적으로 전사할 수 있는 용액전사방식을 사용하여, 웨이퍼에 나노패턴을 연속적으로 전사할 수 있는 나노임프린트장비기술 및 장비 상용화기술이며, 3차원 구조의 나노-마이크로 패턴을 연속적으로 전사할 수 있는 기술임. 세부 연구 내용은 다음과 같음.
○ 용액전사방식(LTIL) 공정기술
○ 웨이퍼기반 용액공급 유니트 기술
○ 롤 기반 나노스템프 제작 공정 및 유니트기술
○ 나노패턴 연속전사를 위한 롤 나노임프린트
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