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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국교통대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 박재환 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-11 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201400007277 |
과제고유번호 | 1345173986 |
사업명 | 기본연구지원사업(모험연구) |
DB 구축일자 | 2014-05-31 |
○ TNO 박막의 전기적 특성
TNO 박막을 위한 타겟조성은 2가지 (Ti1-xNbxO2, x=0.04, 0.06)로 설정하였으며 Nb 4at% 타겟에 의해 증착된 TNO 박막의 특성은 기존의 ZnO계 투명전극과 유사한 수준의 우수한 특성을 나타내었다. 박막의 후열처리를 통해 비저항을 최소 4×10-4 Ώcm까지 낮출 수 있었으며 이는 투명전극으로 충분히 활용할 수 있는 값이다. 한편 후열처리 온도는 200~400℃ 영역은 불충분 하며 600℃가 가
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