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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울과학기술대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 박민수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-11 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201400008471 |
과제고유번호 | 1345173442 |
사업명 | 기본연구지원사업(유형I) |
DB 구축일자 | 2014-05-31 |
다양한 금속재료에 마이크로 스케일의 구조물 및 금형 제작을 위하여 방전가공 및 전해가공이 다양하게 활용되고 있다. 하지만 이러한 전극을 이용한 가공법에는 필연적으로 공구 전극의 대량 생산이 뒷받침되어야만 한다. 이에 마이크로 전극 및 구조물을 대량으로 생산하는 대표적인 방법인 마스크 등을 이용한 증착법이 널리 활용되고 있다. 기존 연구들에서는 고세장비 구조물 제작을 위하여 주로 UV나 X-ray를 이용한 LIGA공정이 활용되었다. 이 경우 고가의 비용을 들여 제작한 마스크가 1회용으로 사용됨으로 인한 공정비용 상승으로 인해 널리 활
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