초록 ▼

최종목표
○ R2R system 보완을 통한 투명전극 증착용 스퍼터 장비 개발
○ Flexible CIGS 박막 태양전지 투명전극 증착용 마그네트론 소스 개발
○ 투명 전극 증착을 위한 공정 기술 개발
개발내용 및 결과
○ R2R system 보완을 통한 투명전극 증착용 스퍼터 장비 개발완료
- 최대 1,550 mm 기판 대응을 위한 rotary magnet type 마그네트론 소스 테스트를 위한 R2R system 성능 개선 완료
: 냉각용 main drum설치, 균일한 박막 증착 특성을 위한

최종목표
○ R2R system 보완을 통한 투명전극 증착용 스퍼터 장비 개발
○ Flexible CIGS 박막 태양전지 투명전극 증착용 마그네트론 소스 개발
○ 투명 전극 증착을 위한 공정 기술 개발
개발내용 및 결과
○ R2R system 보완을 통한 투명전극 증착용 스퍼터 장비 개발완료
- 최대 1,550 mm 기판 대응을 위한 rotary magnet type 마그네트론 소스 테스트를 위한 R2R system 성능 개선 완료
: 냉각용 main drum설치, 균일한 박막 증착 특성을 위한 Gas delivery module 제작 완료, 1,100 mm 기판 대응 위한 Protection shield 제작 완료, 고진공 진공펌프 장착을 통한 pumping 성능 개선 완료, 조능력 향상을 위한 substrate heating module 장착 완료, 무인 환경에서 작업위한 각종 interlock 추가 및 제어용 S/W 보완 완료
-. TSP용 ITO film (폭 1,250 mm) 양산테스트 진행
: 270 Ω/sq ITO film 개발 후 TSP 제조업체에서 신뢰성 평가 진행 중, 150 Ω/sq ITO film 개발하여 울텍 자체에서 성능 평가 진행 중
○ Flexible CIGS 박막 태양전지 투명전극 증착용 마그네트론 소스 개발 완료
-. 500 mm, 1,100 mm 이상의 기판 대응을 위한 rotary magnetron source 개발 완료
: 자석 크기, 배열각도, 회전각도에 따른 simulation 결과 확보
: 1,100 mm 기판 대응 rotary magnet type 마그네트론 소스
시제품 제작 완료[박막 특성 평가, target 사용 효율 확인 (72.2 %)], 구조 특허 등록 (국내 등록, 제10-1275673호)
○ 투명 전극 증착을 위한 공정 기술 개발
-. AZO 투명 전극 증착을 위한 공정 기술 개발
-. ITO 투명 전극 증착을 위한 공정 기술 개발
-. 투명전극 비저항 개선을 위한 공정 방법 및 후속 열처리 특성 확인
기술개발 배경
○ 신성장 사업인 Flexible CIGS 태양전지 제조 장비의 핵심 요소 기술 확보
-. CIGS 화합물 태양전지는 낮은 제조 원가 및 높은 연간 발전량의 이유로 박막형 태양전지 중에서도 향후 가장 상업화 가능성이 높은 분야이며 특히 R2R 공정 적용이 가능한 flexible 기판을 이용한 태양전지 제조방식이 CIGS 박막 태양전지 시장에 진출하는 다수의 기업에 채택되고 있는 추세였음.
-. 고속, 고효율의 신뢰성을 가지는 rotary magnet type 마그네트론 소스 개발은 flexible 기판 처리가 가능한 R2R sputter제조의 핵심 기술 및 핵심 부품임.
-. rotary magnet type 마그네트론 소스 개발을 통해 Flexible CIGS 태양전지 투명전극 증착용 스퍼터 양산 장비의 국산화가 가능함.
○ 박막 실리콘 태양전지 및 기타 산업 분야에 적용이 가능
-. rotary magnet type 마그네트론 소스 및 R2R sputter를 이용한 투명전극 증착은 태양광 산업 분야 이외에도 반도체, 디스플레이, LED 등 여러 산업분야에서 걸쳐 사용되고 있어 그 적용범위가 큰 특징을 가지고 있음.
○ 핵심 부품에 대한 기술 확보를 통한 경쟁력 강화
핵심개발 기술의 의의
○ Rotary magnet type 마그네트론 소스 개발을 통하여 전량 수입에 의존하던 sputter 장비의 핵심 부품의 국산화가 가능해짐.
○ 본 사업을 통해 개발한 Rotary magnet type 마그네트론 소스는 선진 업체와 차별화된 독자적인 magnetron source 구조로 현재 특허 등록이 완료되었음. (국내 등록, 제10-1275673호)
적용 분야
○ Flexible CIGS 박막 태양전지 투명전극 증착용
○ Flexible CIGS 박막 태양전지 metal 증착용
○ TSP용 ITO film 및 metal film 제조용

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 기술개발사업 최종보고서 초록 ... 3
• 1. 일반 현황 ... 3
• 2. 기술개발 개요 ... 3
• 3. 개발결과 요약 ... 4
• 4. 기술 및 경제적 성과 ... 6
• 5. 파급 효과 및 기대 효과 ... 7
• 6. 해당 기술, 제품의 시장 현황 ... 7
• 7. 제품 사진 ... 7
• <기술개발사업 주요 연구성과> ... 8
• 목 차 ... 11
• 제 1 장 서론 ... 12
• 제 1 절 과제의 개요(개발기술의 중요성 및 필요성) ... 12
• 제 2 절 국내 ․ 외 관련 기술의 현황 (수행과정에서 수집한 해외 기술정보 포함) ... 16
• 제 3 절 기술개발 시 예상되는 기술적 ․ 경제적 파급 효과 ... 17
• 제 2 장 과제 수행의 내용 및 결과(기술개발 내용 및 방법) ... 19
• 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 19
• 제 2 절 연차 목표 및 평가 방법 ... 20
• 제 3 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 23
• 제 4 절 수행 결과의 보안등급 ... 72
• 제 5 절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리 현황 ... 72
• 제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 73
• 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 73
• 1. 연구개발 추진 일정 ... 73
• 2. 연구개발 추진 실적 ... 74
• 3. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 전체를 기재 ... 75
• 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 77
• 1. 각 기관/기업별 역할 및 추진 내역 ... 77
• 제 3 절 시장 현황 및 사업화 전망 (당초 기술개발 시작 시점의 조사와 변화된 것 위주로기술) ... 78
• 제 4 절 고용 창출 효과 ... 78
• 제 5 절 자체보안관리진단표 ... 79
• 부 록 : 설계도면, 시험성적서, 논문 게재 및 특허 증빙서류 ... 80
• 끝페이지 ... 81