초록 ▼

개발목표
계 획
석유화학산업 및 반도체 장비용
고압, 고온, 고수명의 밸브용
벨로우즈 모듈 개발
실 적
석유화학 산업 및 반도체 장비용
고압, 고온, 고수명의 밸브용
벨로우즈 모듈 개발
정량적 목표항목 및 달성도
2. 내열성 ; 650℃ 100
3. 내압성 ; 120Mpa
4. 내구성 ; 30,000회
5. 신축성 ; 30%
6. 기밀성 ; 1x10^-8 Pam³/sec
기대효과
◦Z일본 및 독일에서 수입해오

개발목표
계 획
석유화학산업 및 반도체 장비용
고압, 고온, 고수명의 밸브용
벨로우즈 모듈 개발
실 적
석유화학 산업 및 반도체 장비용
고압, 고온, 고수명의 밸브용
벨로우즈 모듈 개발
정량적 목표항목 및 달성도
2. 내열성 ; 650℃ 100
3. 내압성 ; 120Mpa
4. 내구성 ; 30,000회
5. 신축성 ; 30%
6. 기밀성 ; 1x10^-8 Pam³/sec
기대효과
◦Z일본 및 독일에서 수입해오던 고온, 고압, 고순도 밸브의 국산화
◦O밸브의 수리 및 교체용 벨로우즈 모듈의 국산화
적용분야
◦Z고부식성 실험실용 내산 밸브용 벨로우즈 모듈
◦Z석유화학 플랜트 밸브용 벨로우즈 모듈
◦O고순도 반도체 장비 밸브용 벨로우즈 모듈

목차 Contents

• 중소기업 기술개발사업 최종보고서 ... 1
• 표지 ... 2
• 제 출 문 ... 3
• 요 약 서 (초 록) ... 4
• 목 차 ... 5
• 제 1 장 개발기술의 개요 ... 6
• 제 1 절 벨로우즈 실밸브용 벨로우즈 기술의 개요 ... 6
• 제 2 절 벨로우즈 기술의 개요 ... 7
• 제 2 장 개발목표 및 개발 내용 ... 11
• 제 1 절 기술개발 목표 ... 11
• 1-1 내열, 고내식성 Ni-Base Alloy박판 정밀 용접 공정 기술 개발 목표 ... 11
• 1-2 일체형 정밀 성형 장비 개발 목표 ... 12
• 1-3 벨로우즈 실 밸브용 벨로우즈 모듈 개발 목표 ... 13
• 제 2 절 세부 개발내용 및 방법 ... 14
• 2-1 내열, 고내식성 Ni-Base Alloy박판 정밀 용접 공정 기술 개발 내용 및 방법 ... 14
• 2-2 일체형 정밀 성형 장비 개발 내용 및 방법 ... 21
• 2-3 벨로우즈 실 밸브용 벨로우즈 모듈 개발 내용 및 방법 ... 27
• 제 3 장 성과 요약 및 기대 효과 ... 39
• 제 1 절 성과 요약 ... 39
• 제 2 절 기대 효과 ... 40
• 수행기관 현물출자 확인서 ... 42
• 끝페이지 ... 42