초록 ▼

개발목표
계획
◦ 터치패널의 패턴 인비저블을 고려하여 얇은 플라스틱 기판 위에 Nb₂O₅, SiO₂, ITO 박막을 직접 적층 진공코팅하는 "패턴 인비저블 ITO coated Plastic 생산기술" 개발
◦ 화학적 방법으로 표면보호층이 코팅된 얇은 플라스틱 37×47(50×50) cm²기판을 100×100 cm² 기판홀더 위에 4장 설치하여 "패턴 인비저블 ITO coated Plastic"을 양산 할 수 있는 제조

개발목표
계획
◦ 터치패널의 패턴 인비저블을 고려하여 얇은 플라스틱 기판 위에 Nb₂O₅, SiO₂, ITO 박막을 직접 적층 진공코팅하는 "패턴 인비저블 ITO coated Plastic 생산기술" 개발
◦ 화학적 방법으로 표면보호층이 코팅된 얇은 플라스틱 37×47(50×50) cm²기판을 100×100 cm² 기판홀더 위에 4장 설치하여 "패턴 인비저블 ITO coated Plastic"을 양산 할 수 있는 제조 시스템 최적화 조건 도출
실적
◦ 인라인 마그네트론 스퍼터링 시스템으로 ITO/SiO₂/Nb₂O₅/Plastic 구조의 박막을 제조하였으며, 패턴 인비저블 특성을 만족함으로써 "패턴 인비저블 ITO coated Plastic 생산기술" 개발 완료하였음
◦ ITO/SiO₂/Nb₂O₅/Plastic 구조의 박막 제조를 통해 양산 생산용으로 100×110 cm² 기판홀더 위에 플라스틱 기판 37×47(50×50) cm² 4장이 설치 가능한 "패턴 인비저블 ITO coated Plastic"을 양산 할 수 있는 제조 시스템 최적화 조건도출을 완료하였음.
정량적 목표항목 및 달성도
1. ITO 박막의 면저항 150 Ω/cm² / 2. ITO 박막의 두께 170 Å / 3. SiO₂ 박막의 두께 750 Å / 4. Nb₂O₅ 박막의 두께 150 Å / 5. 광 투과율 90.49% / 6. ITO 박막의 내열성 ±1.25% / 7. ITO 박막의 패턴 인비저블 0.23
기대효과
본 연구개발의 완성으로, 이 분야에 국내․외적으로 독보적 기술 경쟁력 우위 확보를 기반으로, "패턴 인비저블 ITO coated Plastic" 제품을 국내 터치패널 Maker에 공급함으로써 외국사 대비 국내 관련 Maker 제품들의 기술우위로 수출 경쟁력 증대가 예상되기에 수입대체 효과 및 수출효과가 기대됨
적용분야
P1F / P2 터치패널용 ITO coated Plastic