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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)제넨칩 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-08 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400013336 |
과제고유번호 | 1425073370 |
사업명 | 창업성장-1인창조 |
DB 구축일자 | 2014-09-20 |
키워드 | 컬럼스페이서.블랙컬럼스페이서.저유전.안료.포토레지스트. |
개발목표
계 획
◦BM과 CS의 기능이 동시에 가능한 저유전 Black Column Spacer용 CB/SiO2 안료개발
◦높은 광차단성, 낮은 유전율을 갖는 고해상도의 BCS 포토레지스트로의 적용 연구
실 적
- 착색 나노분산체(카본블랙, 실리카 안료) 개발 및 이를 포함하는 CS용 고분자 복합 재료 개발
- 각종 안료의 표면처리 및 최적 고분자 바인더 구조의 설계 및 합성
- 광차단성, 코팅 평탄성 등의 BM 으로서의 기능 최적화 연구
- 저유전율, 고탄성 회복율, 해상력 등 CS에 적
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