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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에프원테크 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-01 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400013581 |
과제고유번호 | 1425076275 |
사업명 | 중소기업융복합기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2014-10-11 |
키워드 | 본딩.고착이물.밀착성.초정밀.극세사. |
개발목표
계획
아래의 주요 성능 지표 및 Mechanism적 특성을 갖춘 Bonding 세정용 밀착성 극대화 초정밀 Cleaning System을 개발한다.
1) Guide Roller가 필요없는 직진도 관리, Glass 구동 시 틀어짐 등의 불량 발생요인 제거
2) 소형 Glass의 빠른 건조를 위한 Air Heater의 적용 → Hot Air Kife를 적용하여 균일한 온도편차 적용
3) Air Knife의 구조 최적화로 균일한 분사량 유지 → 초소형 Cell (2“ 이하) 의 날림현상 방지
4)
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