초록 ▼

개발목표
계획
반도체 제조공정용 암모니아처리 플라즈마 스크러버 기술개발
실 적
lab scale 스크러버 개발 및 실증, 제거율: 99.9%, 전원장치개발: 6 kW/(m³/min) 급
정량적 목표항목 및 달성도
1. 제거율(%) 99.9 / 2. 배기단 총질소(%) 90.4 / 3. 에너지 회수효율(%) 74.6 / 4. 플라즈마 반응기 수명(시간) 3,000 이상
기대효과
반도체/LED 공정 암모니아 폐가스 친환경적 처리기술개발로 실제공정 적용 및 기술이전
플라

개발목표
계획
반도체 제조공정용 암모니아처리 플라즈마 스크러버 기술개발
실 적
lab scale 스크러버 개발 및 실증, 제거율: 99.9%, 전원장치개발: 6 kW/(m³/min) 급
정량적 목표항목 및 달성도
1. 제거율(%) 99.9 / 2. 배기단 총질소(%) 90.4 / 3. 에너지 회수효율(%) 74.6 / 4. 플라즈마 반응기 수명(시간) 3,000 이상
기대효과
반도체/LED 공정 암모니아 폐가스 친환경적 처리기술개발로 실제공정 적용 및 기술이전
플라즈마와 촉매공정을 결합한 고효율 시스템개발로 보급 확대
플라즈마 반응기와 고전압전원장치의 매칭을 통한 통합된 플라즈마 스크러버 공급으로 운전전력 절감 및 유지보수 용이
반응기 내구성 증가 및 폐수처리 비용 절감으로 스크러버 가격 경쟁력 확보
적용분야
반도체/LED 공정 중 수소/암모니아 배출공정(CVD 공정) 적용
LCD 공정 등에 확대적용(scale-up 기술개발 활용) 및 시장 선점
악취 및 VOCs 공정 등에 기술 활용

목차 Contents

• 표 지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 요 약 서 (초 록) ... 3
• 목 차 ... 4
• 표 목 차 ... 7
• 그 림 목 차 ... 8
• 제 1 장 개발기술의 개요 ... 11
• 제 1 절 개발기술의 개요 및 필요성 ... 11
• 1. 개발기술의 개요 ... 11
• 가. 스크러버 기술 개요 ... 11
• 나. 플라즈마 스크러버 기술 ... 13
• 다. Rotating(Gliding) Arc Plasma 고전압 전원장치 ... 15
• 2. 기술개발 필요성 ... 16
• 제 2 절 관련기술 현황 ... 21
• 1. 국내ㆍ외 관련기술의 현황 ... 21
• 가. 국내 관련기술 현황 ... 21
• 나. 국외 관련기술 현황 ... 23
• 2. 국내ㆍ외 시장 현황 ... 25
• 가. 국내ㆍ외 시장 규모 ... 25
• 나. 국내ㆍ외 주요시장 경쟁사 ... 26
• 3. 국내ㆍ외 지식재산권 현황 ... 27
• 4. 기술개발 차별화 및 선행특허 회피 전략 ... 28
• 가. Gliding arc 반응기 특성 ... 29
• 나. Rotating arc 반응기 특성 ... 29
• 제 2 장 개발목표 및 개발내용 ... 31
• 제 1 절 기술개발 목표 ... 31
• 1. 최종목표 ... 31
• 2. 기술개발 내용 및 업무분장 ... 31
• 가. 주요 기술개발 내용 ... 31
• 나. 수행기관별 업무분장 ... 32
• 3. 기술개발 목표 및 달성도 평가 ... 32
• 제 2 절 세부개발 내용 및 결과 ... 37
• 1. 고효율 암모니아 건식 스크러버 기술개발 ... 38
• 가. 신장아크 반응기 ... 38
• 나. 열분해 공정설계 ... 48
• 다. 열회수 최적화를 위한 시작품 설계/제작: 플라즈마공정 중심 ... 49
• 라. 시작품 열분해 특성평가 ... 51
• 마. 융합공정(플라즈마+촉매공정)을 적용한 저전력 스크러버 설계기술개발 ... 62
• 바. 100 m3/h급 무폐수 처리 장치 개념 설계 ... 74
• 2. 플라즈마 반응기 전극 내구성 향상기술 개발 ... 78
• 가. 전극 내구성 개요 ... 78
• 나. 고전압 전극 내구성 평가 ... 80
• 3. 플라즈마 스크러버용 아크 전원장치 개발 ... 89
• 가. 전력변환 기술 및 회로의 특징 ... 90
• 나. Converter의 종류 및 특성 ... 90
• 다. 고전압 전원장치 Block Diagram 및 개념설명 ... 94
• 라. Rotating Arc용 고전압 제어 알고리즘 개발 ... 95
• 마. 단계별 진행내역 및 결과 ... 95
• 제 3 장 성과요약 및 기대효과 ... 114
• 1. 정성적 성과 ... 114
• 2. 정량적 성과요약 ... 116
• 가. 특허출원 ... 116
• 나. 논문 ... 117
• 3. 기대효과 ... 118
• 가. 기술적 측면 ... 118
• 나. 환경적 측면 ... 118
• 다. 경제적 • 산업적 측면 ... 118
• 4. 개발기술 활용방안 및 사업화 방안 ... 119
• 가. 활용방안 ... 119
• 나. 사업화 방안 ... 119
• 참고문헌 ... 121
• 부록 ... 123
• 1. 성능시험 성적서: 첨부자료 참조 ... 124
• 2. 특허 출원: 한국기계연구원 ... 125
• 3. 논문 실적 ... 128
• 4. 기술홍보 ... 133
• 5. 기타(제품 판매실적 등) ... 136
• 끝페이지 ... 137