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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에이스나노켐 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-06 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400014798 |
과제고유번호 | 1425073883 |
사업명 | 창업성장-건강관리연계 |
DB 구축일자 | 2014-10-04 |
키워드 | 경면연마.실리콘웨이퍼.웨이퍼연마.Stock Slurry. |
개발목표
계획
기존 사용중인 슬러리보다 높은 퍼포먼스 슬러리 개발
실 적
실트론 Test 진행 中 (고객 PCN 진행)
정량적 목표항목 및 달성도
1. 연마율 1um/min이상 확인 (기존 사용품 대비 동일이상) / 2. Roughness 2 ~ 5Å / 3. Metal(Cu, Ni) 10~20ppb(고객 Test 중)
기대효과
* 연마효율, 안전성, 편의성 및 경제성에서 수입품 대비 우수한 슬러리 개발로 경쟁력확보
* 노하우 축적 및 핵심기술 국산화로 수입대체 및 일본, 중국등 수출
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