초록

연구개발 결과
MIS(Multi Inner Stage) Cyclone은 기존의 Cyclone의 원리를 이용하여 제작하였다. 입자상 물질 제거율 95%이상의 뛰어난 집진 성능을 갖고 있으며, 가스상 물질 99% 처리, 수분 배출은 거의 되지 않는다. 특히 유량 변화에 따라 집진 성능의 차이가 없는 것이 가장 큰 특징이다.

Abstract ▼

Ⅳ. Results
To develop high capacity 5,000LPM MIS Cyclone, it has been studied and experimented for 3 years and actual cyclone picture is below.
This study developed low capacity MIS Cyclone first. After that, by applying the optimum design parameters and conditions, high capacity MIS Cyclone w

Ⅳ. Results
To develop high capacity 5,000LPM MIS Cyclone, it has been studied and experimented for 3 years and actual cyclone picture is below.
This study developed low capacity MIS Cyclone first. After that, by applying the optimum design parameters and conditions, high capacity MIS Cyclone was manufactured with verification of STAR CCM+ which is computational fluid dynamics simulation program. And then we established 98% removal efficiency in 1 ~ 20μm fine particles, 96% in gaseous materials and 90% in moisture discharge suppression.

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 3
• 요약서 ... 4
• 요약문 ... 6
• SUMMARY ... 10
• 목 차 ... 13
• 표 목 차 ... 15
• 그 림 목 차 ... 17
• 제 1 장 서 론 ... 23
• 제1절 연구개발과제의 개요 ... 25
• 1. 연구개발의 중요성(필요성) ... 25
• 가. 대상 오염물질 ... 25
• 나. 일반적인 저감 및 제거기술 ... 28
• 다. 본 연구에서 개발하는 저감 및 제거기술 ... 35
• 2. 연구개발 대상 기술의 차별성 ... 37
• 가. 주관연구기관의 관련기술 보유현황 ... 37
• 제2절 연구개발의 목표 및 추진전략 ... 38
• 1. 연구개발의 목표 ... 38
• 가. 연구개발의 최종목표 ... 38
• 나. 연구개발의 연차별 목표 ... 39
• 2. 연구개발의 추진전략체계 및 연구수행방법 ... 40
• 가. 연구개발의 추진전략 ... 40
• 나. 연차별 추진체계 ... 41
• 다. 연차별 연구수행방법 ... 42
• 제 2 장 연구개발 수행내용 및 결과 ... 47
• 제1절 기초 자료 조사 및 1,000LPM급 MIS Cyclone 설계 ... 49
• 1. 전자산업 공정 기초 조사 자료 ... 49
• 가. 전자산업 공정상에서 발생하는 오염물질의 종류 및 파악 ... 49
• 나. 전자산업 공정상에서 발생하는 오염물질의 특성 ... 51
• 다. 오염물질의 특성 파악 및 처리 메커니즘 파악 ... 52
• 라. 기존 전자산업 공정상의 가스처리법 검토 ... 56
• 마. 수용성 산성가스 처리 기술의 특성 파악 ... 61
• 바. Cyclone의 CFD를 활용한 시스템 최적화 설계 인자 도출 ... 68
• 제2절 1,000LPM급 MIS Cyclone 연구수행결과 ... 97
• 1. 1,000LPM급 MIS Cyclone 연구실험 및 결과 도출 ... 97
• 가. 1,000LPM급 MIS Cyclone 제작 및 설치 ... 97
• 나. 미세입자 및 입자 투입 방법 선정 ... 99
• 다. 미세입자 집진 성능 검증 ... 106
• 라. 미세입자 장기 운전을 통한 운전인자 최적화 ... 110
• 마. 수분 배출 최소화 ... 120
• 바. 5,000LPM급 MIS Cyclone 설계 및 제작 ... 122
• 제3절 5,000LPM급 MIS Cyclone 연구수행결과 ... 142
• 1. 5,000LPM급 MIS Cyclone 연구실험 및 결과 도출 ... 142
• 가. 5,000LPM급 MIS Cyclone 설치 및 기초실험 ... 142
• 나. 입자상 물질 제거 ... 143
• 다. 가스상 오염 물질 제거 ... 152
• 라. 수분 배출 최소화 ... 161
• 제 3 장 목표 달성도 및 관련분야 기여도 ... 165
• 제1절 연도별 연구개발목표의 달성도 ... 167
• 1. 1차년도 연구개발목표의 달성도 ... 167
• 2. 2차년도 연구개발목표의 달성도 ... 168
• 3. 3차년도 연구개발목표의 달성도 ... 168
• 4. 최종연구개발목표의 달성도 ... 169
• 제 4 장 연구개발결과의 활용계획 ... 175
• 제1절 연구개발 결과의 활용계획 ... 175
• 1. 경제사회적 성과달성 계획 ... 175
• 제 5 장 참고문헌 ... 181
• 1. 국내문헌 ... 181
• 2. 국외문헌 ... 181
• 끝페이지 ... 185