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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)호두 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-01 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201400019546 |
과제고유번호 | 1415124853 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화사업 |
DB 구축일자 | 2014-11-29 |
키워드 | 진공펌프.상·하부진공용기.상·하부밸브.진공변기.배출밸브. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201400019546 |
2. 개발내용 및 결과
결론부터 기술하면 개발내용은 상기 최종목표의 내용에 만족하도록 개발하였으며 결과는 거의 100%의 만족도를 보였다. 따라서 개발내용은 핵심 부품에 대하여 개발 과정에서 발생한 문제점의 해결 방법 및 그 결과에 대해서만 간략히 설명한다. (상세한 설명은 최종보고서 원문 참조)
가. 진공펌프
개발 초기에 진공펌프는 건식타입의 진공펌프(carbon vane pump)를 채택하였다. 채택 이유는 가볍고 분해 점검이 용이하며 운전조건이 간단할 뿐만 아니라, 수봉식(liquid type)에서 요구되는 물
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