[보고서]마이크로급 3단 Probe tip 제조 기술개발

김정호

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보고서 정보
주관연구기관	제이스
연구책임자	김정호
참여연구자	박욱상 , 유승민 , 육나라
보고서유형	최종보고서
발행국가	대한민국
언어	한국어
발행년월	2010-07
과제시작연도	2009
주관부처	산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy
연구관리전문기관	한국산업단지공단 Korea Industrial Complex Corporation
등록번호	TRKO201400019765
과제고유번호	1415099675
사업명	산업집적지 경쟁력강화
DB 구축일자	2019-11-16
키워드	도금.Probe Tip.MEMS.

초록

2. 개발내용 및 결과
1) Stress가 없는 CoNi 합금 도금 전해액 개발
2)10um이상 도금 가능한 Rhodium 도금기술 개발
3) Multi-layer 도금기술 개발

목차 Contents

표지 ... 1제출문 ... 2생산기술사업화 지원사업(현장맞춤형 기술개발) 최종보고서 초록 ... 3목차 ... 4제 1 장 서론 ... 5 제 1 절 개발기술의 배경 ... 5 제 2 절 기술개발의 최종목표 ... 6 제 3 절 개발기술의 평가방법 및 평가항목 ... 6제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 7 제 1 절 Nozzle 타입의 분사형 도금 system 개발 ... 7 제 2 절 Stress free인 CoNi 도금 기술 개발(Stress 목표치 : 2MPa 이하) ... 7 제 3 절 공정시간 단축을 위한 Si wafer와 도금막의 분리기술 개발 ... 9 제 4 절 도금막 Stress평가 실시 ... 10 제 5 절 CoNi 합금 도금막 Defect 분석 ... 10 제 6 절 최적 도금조건하에서 도금한 CoNi도금막 특성평가 실시 ... 12제 3 장 결과 ... 13 제 1 절 Rhodium 도금 ... 13 제 2 절 도금막 분리기술 개발 ... 20 제 3 절 최적화된 양산 기술로 최종 제작된 로듐 3단 프로브팁 ... 21부록 ... 23 1. 사업추진현황 ... 23 2. 추진계획 ... 24끝페이지 ... 24

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