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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)화백엔지니어링 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-11 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201400019813 |
과제고유번호 | 1415117902 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화 |
DB 구축일자 | 2014-11-10 |
키워드 | 반도체.식각.플라즈마.아크.Semiconductor.Etching.Plasma.ARC.EPD. |
2. 개발내용 및 결과
2-1. 개발1 과제 : PECS Senor를 이용한 Arc 및 EPD 알고리즘 개발.
○ PECS Sensor를 통해 Plasma 상태가 R, G, B, 상관관계 분석을 통해 공정의 변화와 Macro-Arc & Micro-Arc 알고리즘 개발.
○ 실시간 고속 데이터의 Trend 동기
○ Sampling Rate : 100KHz
○ Resolution : 16Bit
○ 각 Signal(R,G,B)AVG, MAX, MIN, Standard deviation Value DB.
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