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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)엠시스 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-06 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400020687 |
과제고유번호 | 1425080596 |
사업명 | 기업부설연구소 설치지원 사업 |
DB 구축일자 | 2014-11-10 |
1. 최종목표
▷ 대면적 원통형 패턴롤의 비접촉 패턴 검사기 개발
-. 20nm Resolution
-. 직경 200mm, 길이 1,000mm 원통형 패턴롤 검사 대응 가능
-. 패턴형상 3차원 profiling
2. 개발내용 및 결과
- 직교 2축, 회전 1축 초정밀 이송 스테이지를 포함한 기구
- 비접촉 3D Module Controller & S/W
- 국소영역 형상데이터의 병합을 통한 광역 데이터 표현
3. 사업성과
◦기술적 성과
- 차기 기술로서 지목되고 있는 인쇄
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