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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국산업기술대학교 Korea Polytechnic University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-05 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400020758 |
과제고유번호 | 1425080916 |
사업명 | 산학연 공동기술개발 전국사업 |
DB 구축일자 | 2014-11-10 |
1. 최종목표
- 액체용 질량유량을 측정하는 유량센서 및 이를 제어하는 기술을 개발
- 유량범위: 0.1~1g/min, 정확도 1.0% 이하, 선형도 0.5% 이하, 재현성 0.5% 이하, 응답속도 3초 이하
- 개발품의 상품화를 위해 제작공정과 시험 평가 방법을 정립
2. 개발내용 및 결과
- 액체용 질량유량계측기(LMFC, Liquid Mass Flow Controller) 개발 내용
(1) 유량을 측정하는 센서부
(2) 측정된 신호를 처리하고 제어하는 전자회로부
(3) 유량을 제어하는
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