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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울시립대학교 산학협력단 Korea Forest Research Institute |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-05 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400021064 |
과제고유번호 | 1425079863 |
사업명 | 첫걸음기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2014-11-10 |
1. 최종목표
MEMS 기술을 이용하여 고감도, 고신뢰성의 중 • 저압 압력센서 유닛 제작 기술 개발을 목표로 하며, 이에 따른 산업용의 중·저압 압력센서로서 사용하기 위한 정전용량식 센서 디바이스 설계 제조기술, 실링 및 패키지 기술을 개발하고자 한다.
2. 개발내용 및 결과
CMOS/MEMS 공정을 이용하여 FET 형 마이크로 압력센서를 제작하였고, 이를 적용하여 산업용 압력센서 유닛 시제품을 개발하였다. FET 압력센서 설계 및 해석, 다이어프램 정밀 식각 기술 등 압력센서 셀 제작 공정기술을 개발하였고, 산업
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