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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인하대학교 산학협력단 InHa University |
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보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-08 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201400021794 |
과제고유번호 | 1345171033 |
사업명 | 방사선융합기술개발 |
DB 구축일자 | 2014-11-10 |
키워드 | 센서 어레이.방사선 분해.시스템-온-칩.나노선 네트워크.가스센서.촉매금속나노입자.패턴인식.Sensor array.Radiolysis.System-on-chip.Nanowire Network.Gas sensor.Catalytic Metal Nanoparticle.Pattern Recognition. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201400021794 |
1차년도
○ 트렌치 구조 적용 나노선 선택적 성장 기술 확립. 나노선 형상/균일도 향상 기술 개발
○ 금속촉매 소재 및 공정조건에 따른 나노선 성장 제어를 통한 나노선 합성기술 최적화 기술 개발
○ Trench구조 센서 플랫폼 제작을 위한 반도체 공정 최적화. 센서 플랫폼의 금속박막/insulator 성막 및 에칭 조건 도출 및 이를 통한 나노선 네트워크 성장 기술 확립.
○ DC 및 AC를 이용한 개별 센서의 유해가스에 대한 감지성능 분석 기술 확립
2차년도
○ 금속입자 형성 기술 최적화: Cu 합
Ⅳ. Results
- Optimization of nanowire network structure
◦ Formation of SnO2 by VLS (vapor-liquid-solid) process
◦ Formation of nanowire network trench type sensor platforms
◦ Sensing properties and control the density of junction in networked SnO2 nanowire sensors
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