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NTIS 바로가기주관연구기관 | 광운대학교 Kwangwoon University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 Ministry of Education and Science Technology(MEST) |
등록번호 | TRKO201400021963 |
과제고유번호 | 1345173458 |
사업명 | 핵심개인연구 |
DB 구축일자 | 2014-11-10 |
키워드 | 나노 격자.파장필터.에탈론.컬러필터.이미지 센서.CMOS 반도체 공정.공진기.광소자.광부품.nano grating.wavelength filter.nano etalon.color filter.image sensor.CMOS process.resonator.optical device.optical components. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201400021963 |
연구결과
● 상용화된 90 nm CMOS 공정을 도입하여 최초로 나노 격자 구조 기반의 가시광 필터를 이미지 센서와 완전 집적하는데 성공함
- 나노 격자 구조 기반의 가시광 필터가 내부에 집적된 이미지 센서 모듈 구현
- 가시광 대역에서 약 80%의 높은 광투과율 확보
- 기존 이미지 센서에 다양한 타입의 나노 격자 구조 기반의 광필터 응용 가능성 확보
● 세계 최고 광투과율을 갖는 초박형 유전체-금속 나노 공진기 기반의 컬러필터 구현
- 최대 90% 이상의 광투과율 확보 및 단일 공정을 통한 RGB
Result
● Construction of a nano grating based color filter through commercially available 90 nm CMOS foundry process and its integration to a CMOS image sensor
- Construction of image sensor modules integrated with ultra-thin nano grating based color filters
- High optical transmission over
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