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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-01 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
등록번호 | TRKO201400023527 |
과제고유번호 | 1415126888 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2014-11-22 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201400023527 |
○ 나노금속 패턴 공정기반 확보
• Lift-off Resist 와 Silicon-based Resist Etch Mask를 이용한 실버패턴 공정기술 개발
• Direct Metal (Ag) Nanpimprint 공정을 통해 Non-isolated Patterned Metal Film 공정
• 매립형 (Embedded Type) 금속 패턴 어레이 공정기반 구축
• 금속 나노박막 증착 공정 기반구축 및 특성평가
• 금속나노패턴 Direct Milling 기반 구축 및 특성 평가
○ LSPR-Assis
IV. Results
○ Development of Lift-off process with silicon-based resist etch mask for Ag nano pattern
○ Development of fabrication process for non-isolated patterned metal film by metal imprint
○ Development of fabrication process for embedded type metal patterne array
○ Established t
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