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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-05 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400026686 |
과제고유번호 | 1425076782 |
사업명 | 산학연협력기술개발 |
DB 구축일자 | 2014-11-17 |
1. 최종목표
- 고품질 C-축(Cz 법 기반) 사파이어 잉곳 성장 시스템 구현을 위한 Hot Zone 온도 균일화 및 제어기술 개발
2. 개발내용 및 결과
- Al2O3를 용융하여 사파이어 단결정 생성을 할 수 있는 Hot Zone부 설계 및 제작
·고온용 Cz법에 사용가능한 텅스텐 도가니, 저항가열 방식의 히터, 그라파이트 소재의 단열재
- 사파이어 잉곳의 대구경화 및 대용량화에 따른 잉곳 계면 주변의 급격한 열 환경 변화를 제어할 수 있는 온도구배제어 기술 개발
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