초록 ▼

1. 최종목표
반도체 및 LCD 공정에 사용되고 있는 독일의 파이퍼사의 진공펌프용 전원공급기의 국산화로 기존 장비와의 호환성이 매우 중요시 되며 이와 더불어 효율 면에서 월등한 고효율 900W 정류기(AC/DC Converter) 개발로 15%이상의 전기요금 절감과 이산화탄소 발생 억제를 실현할 수 있는 제품개발
2. 개발내용 및 결과
반도체 및 LCD 공정용 고효율 900W 진공펌프 전원공급기는 주로 반도체 및 LCD 생산 Line에 사용되고 있는 저진공펌프용 전원으로 독일의 파이퍼사로부터 공급 받아 1994년부터

1. 최종목표
반도체 및 LCD 공정에 사용되고 있는 독일의 파이퍼사의 진공펌프용 전원공급기의 국산화로 기존 장비와의 호환성이 매우 중요시 되며 이와 더불어 효율 면에서 월등한 고효율 900W 정류기(AC/DC Converter) 개발로 15%이상의 전기요금 절감과 이산화탄소 발생 억제를 실현할 수 있는 제품개발
2. 개발내용 및 결과
반도체 및 LCD 공정용 고효율 900W 진공펌프 전원공급기는 주로 반도체 및 LCD 생산 Line에 사용되고 있는 저진공펌프용 전원으로 독일의 파이퍼사로부터 공급 받아 1994년부터 1996년에 국내 대기업에 1만여대가 집중적으로 설치되어 24시간 풀가동되었으나 장시간의 사용으로 인한 전원공급기 주요부품인 콘덴서 등의 내구수명 문제로 불량이 급격히 증가함에 따라 생산 차질이 발생하고 있으며, 구매 업체인 독일의 파이퍼에 A/S 신청시 15년이상의 시간이 흘러감에 따라 핵심부품 등의 반도체소자 및 부품들이 대부분 단종 되어 수리에 어려움이 있어서 현재는 대체품을 주고 있으나 이마저도 3개월이라는 많은 시간과 130만원이라는 높은 가격을 받고 있어서 기업에서는 많은 애로를 겪고 있으며 특히, 전원공급기의 에너지 효율이 좋지 못함에 따라 높은 전기요금이 발생하고 있어서 이를 고효율 제품으로 개발하여 교체하면 연 15%이상의 전기요금 절감을 실현하고자 고효율의 직류 전원공급기를 개발하여 93%이상의 제품 개발을 성공시킴
3. 사업성과
◦ 기술적 성과
반도체 및 LCD 공정용 고효율 900W 진공펌프 전원공급기는 고효율, 고밀도의 성능사양을 요구하기 때문에 기존의 설계방식으로는 본 제품 제작이 불가함에 따라 PFC는 ZCS(Zero Current Switching)방식과 DC/DC컨버터는 공진형 방식인 위상천이(Phase Sheft Full-Bridge)방식으로 개발함에 따라 효율 93.7%를 달성하여 개발 목표인 92%를 초과 달성하였으며, 이에 사용된 공진형 설계 Algorithm을 자체 확보함에 따라 타 산업분야의 전원관련 제품에도 적용이 가능함
◦ 경제적 성과
본 개발 장비인 진공펌프용 정류기 900W(장비효율 92%) 1만대를 기준으로 1년이면 약 17억2천만원의 전기요금 절감이 가능하며, 부가적으로 발열이 적어 공조기 비용을 추가적으로 절약이 가능함
또한 초기 투자비를 살펴보면 독일 파이퍼사의 제품을 구매시 1만대면 130억원이 소요되지만 본 개발 제품 도입시 50억원이 소요되므로 약 80억원의 절약이 가능하고 특히, 순수 산업용 전기료 기준으로 투자비 환수시 약 2년 9개월 정도가 소요되며, 전기요금이 인상에 따라 환수기간이 짧아짐
◦ 사회적 성과(일자리 창출 등)
본 장비 개발 진행으로 인하여 2명의 직원을 신규 채용하였으며, 향후 본격적인 양산이 이루어지면 생산인원을 추가로 충원할 예정임
4. 기술개발결과 활용계획
본 제품을 국산화 할 경우 신속한 서비스 및 회로 수정 등이 가능하기 때문에 용량이 다른 제품설계도 가능하며, LED Light, 정류기, 가전, PC 등 타 산업분야에도 적용이 용이 할뿐만 아니라 최근 고효율 전원공급기의 수요가 급격히 늘고 있어 본 제품개발로 기초 기술 확보에 따라 다양한 제품 개발이 가능
5. 기술개발자료의 보안관리
◦ 보안등급 분류기준에 따른 등급부여 및 관련 의견 기술
반도체 및 LCD 공정용 고효율 900W 진공펌프 전원공급기는 일반과제에 해당사항
◦ 연구개발의 기술임치 및 특허 출원·등록 실적
본 개발 장비인 반도체 및 LCD 공정용 고효율 900W 진공펌프 전원공급기에 대한 특허를 출원하였음