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NTIS 바로가기주관연구기관 | 순천향대학교 산학협력단 SoonChunHyang University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-05 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400027862 |
과제고유번호 | 1425075179 |
사업명 | 산학연 공동기술개발 지역사업 |
DB 구축일자 | 2014-11-22 |
1. 최종목표
EPM 장치를 이용한 200㎛ 이하 급 선폭 구현이 가능한 휴대용 노광 장치 개발
- EPM 장치 개발
- 도면 작성 프로그램 및 변환 프로그램 개발
- EPM 구동 회로 개발
2. 개발내용 및 결과
- EPM 장치 개발
쉐도우 영역을 제거할 수 있는 기술 개발
EPM 장치의 설계 및 제작
액정 셀 간격 및 크기 : 165㎛ (셀 크기 : 150㎛, 셀 간격 : 15㎛)
UV 투과율 (5mJ/cm2 이상 투과)
UV 차단율 (2mJ/cm2 이하 투과)
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