최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울과학기술대학교 산학협력단 |
---|---|
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-09 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400028694 |
과제고유번호 | 1345198660 |
사업명 | 일반연구자지원(교육부) |
DB 구축일자 | 2014-11-22 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201400028694 |
● 본 연구는 다양한 데이터마이닝 기법을 활용하여 효과적인 전체 공정 수준(fab-wide)의 고급 공정 관리(advanced process control; APC) 시스템을 개발하는 것을 목표로 다음과 같은 연구를 수행함
• APC 시스템의 핵심 구성 요소인 불량 탐지(fault detection), 가상 계측(virtual metrology) 및 R2R 제어(run-to-run control) 알고리즘 개발
• 개발된 알고리즘들을 유기적으로 결합한 APC 시스템을 설계하고 시뮬레이션 및 실제 공정 적용을 통해 그 효과
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.