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테라헤르츠 기반 초민감 다중 분자 검지 시스템
Multiple molecular sensing system based on terahertz technology 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 연세대학교
Yonsei University
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2014-09
과제시작연도 2013
주관부처 미래창조과학부
Ministry of Science, ICT and Future Planning
등록번호 TRKO201400028781
과제고유번호 1345198030
사업명 중견연구자지원
DB 구축일자 2014-11-22
키워드 테라헤르츠 센서.나노와이어.나노와이어 센서.원자층 증착법.초민감 센서.다분자 검지 시스템.나노와이어 코팅.표면처리.terahertz sensor.nanowire.nanowire sensor.atomic layer deposition.ultra-sensitive sensor.multi-molecule sensing system.nanowire coating.surface treatment.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201400028781

초록 ▼

연구결과
● 수직 정렬된 나노와이어 제작 기술 연구
- 본 연구진은 금속촉매 무전해 식각법, float & lift-off coating을 이용한 단일막 나노구슬 도포 방법 및 나노구슬 리소그래피 기술을 이용하여, 직경조절이 가능하고, 길이가 수 μm에서 100 μm에 이르기까지 원하는 길이의 나노와이어를 제작하고 그 조건을 확립하였음.
● 나노와이어 기능성 코팅, 표면 처리 및 물성 향상 연구
- DEZ(Diethyl Zinc) 전구체와 H2O 반응체를 이용하여 ALD(원자층 증착 기술) 방법으로 ZnO 박막

Abstract ▼

Result
● Research on vertically-aligned nanowire synthesis technology
- Optimizing the process for synthesizing NWs with controled diameter and length, from few μm and up to 100 μm, using MACE and float & lift-off coating for single-layer nanosphere coating & lithography
● Research on funct

참고문헌 (25)

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