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NTIS 바로가기주관연구기관 | 광운대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 권기청 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-10 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 |
연구관리전문기관 | 한국산학연협회 Korea Association of University, Research Institute and Industry |
등록번호 | TRKO201400029951 |
과제고유번호 | 1425082605 |
사업명 | 첫걸음기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-03-07 |
2. 개발내용 및 결과
◦ Spectrometer를 이용하여 플라즈마 방출광을 이용하여 두께측정 및 증착 공정 제어 시스템 기술개발
◦ 목표치인 Spectral resolution(≤ 1 nm), Wavelength (300 ~ 900 nm), 박막두께 측정 범위(0.01 μm ~ 1 μm), 박막두께 반복 측정 오차(≤ 5 nm), 박막두께 측정 속도(0.1 sec ~ 1 sec), 재현성 (≥ 95 %) 모두 달성하여 공정 제어 기술 개발 완료
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