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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기초과학지원연구원 Korea Basic Science Institute |
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연구책임자 | 김상구 |
참여연구자 | 용세정 , 서종복 , 임성민 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-01 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
사업 관리 기관 | 한국기초과학지원연구원 Korea Basic Science Institute |
등록번호 | TRKO201500000402 |
DB 구축일자 | 2015-04-18 |
Ⅳ. 연구개발결과
이번 연구는 마이크로팹 기술을 이용하여 GC x GC 크로마토그래피 시스템을 소형 칩으로 변형하여 미량의 시료를 분석할 수 있는 기술을 개발함. 전자소자의 개발에 등에 활용되는 마이크로팹 제조기술의 광식각 기술을 도입하여 기존의 기체 크로마토그래피 컬럼의 분리 기능을 갖는 미세기로 구조를 개발하고 화합물의 분리에 필요한 여러 기능을 하나의 칩에 집적시킬수 있는 칩을 개발함. 마이크로팹 광식각 기술을 이용하여 칩의 생산에 필요한 필름 마스크, 마스터 및 마이크로팹 컬럼 시제품을 제작하여 시료가 들어가는 주입구
Lithographical methods were applied in order to manufacture the derivatization device. Negative lithography was performed on borosilicate wafers and the PDMS layers with the align keys was implemented in the photomask. The transparent photomask was the same size as the wafers and contained an image
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