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[국가R&D연구보고서] 저투습 저반사 산화물 보호막 제조 기술개발
Development of fabrication technology of low permeation and low reflective oxide barriers 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국재료연구원
Korea Institute of Materials Science
보고서유형3단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2015-01
과제시작연도 2014
주관부처 미래창조과학부
Ministry of Science, ICT and Future Planning
연구관리전문기관 한국재료연구원
Korea Institute of Materials Science
등록번호 TRKO201500002067
과제고유번호 1711017921
사업명 재료연구소연구운영비지원
DB 구축일자 2015-05-09
키워드 유연기판.투습 방지막.반사 방지막.산화물.박막 진공 코팅.Flexible substrates.Permeation barrier.Antireflective layer.oxide layer.thin film.vacuum coating.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201500002067

초록

○ 유연 폴리머 기판상에서 고밀도 투명 산화물 보호막 제조과정에서 산화물 내 미세결함 생성 억제를 통하여 고밀도 저결함 투명 산화물 보호막 소재 제조기술 개발(투습도 10-3g/m2day 수준 달성)
○ 산화물 보호막의 초박형화와 보호막과 폴리머 계면의 접착력 강화를 통하여 고품위 유연 산화물 소재 개발 (R=10 mm에서 10000회 지속 굽힘 후 투습도 10-2g/m2day수준 유지)
○ 폴리머 기판상에 투명 산화물 나노구조체 직접 성장공정을 통하여 저반사 투명 산화물 구조체 제조 기술 개발 (광투과도 단면: 94%,

Abstract

IV . Results
Highly dense and low defect SiOx barrier film s were fabricated on flexible and heat-sensitive PET substrates by applying a single-step room-temperature chemical vapor depositio n process and exhibited a extremely low water-vapor permeation level of 10-3 g/m

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