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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국재료연구원 Korea Institute of Materials Science |
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보고서유형 | 3단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-01 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
연구관리전문기관 | 한국재료연구원 Korea Institute of Materials Science |
등록번호 | TRKO201500002067 |
과제고유번호 | 1711017921 |
사업명 | 재료연구소연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2015-05-09 |
키워드 | 유연기판.투습 방지막.반사 방지막.산화물.박막 진공 코팅.Flexible substrates.Permeation barrier.Antireflective layer.oxide layer.thin film.vacuum coating. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201500002067 |
○ 유연 폴리머 기판상에서 고밀도 투명 산화물 보호막 제조과정에서 산화물 내 미세결함 생성 억제를 통하여 고밀도 저결함 투명 산화물 보호막 소재 제조기술 개발(투습도 10-3g/m2day 수준 달성)
○ 산화물 보호막의 초박형화와 보호막과 폴리머 계면의 접착력 강화를 통하여 고품위 유연 산화물 소재 개발 (R=10 mm에서 10000회 지속 굽힘 후 투습도 10-2g/m2day수준 유지)
○ 폴리머 기판상에 투명 산화물 나노구조체 직접 성장공정을 통하여 저반사 투명 산화물 구조체 제조 기술 개발 (광투과도 단면: 94%,
IV . Results
Highly dense and low defect SiOx barrier film s were fabricated on flexible and heat-sensitive PET substrates by applying a single-step room-temperature chemical vapor depositio n process and exhibited a extremely low water-vapor permeation level of 10-3 g/m
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