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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-05 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201500002955 |
과제고유번호 | 9991005762 |
사업명 | 일반연구자지원(교육부) |
DB 구축일자 | 2015-05-16 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201500002955 |
■ 새로운 리소그래피 기술 개발
∘ 무기물 기반 미세 패턴 형성 TiO2, ZnO, Fe3O4, VO2 등 다양한 무기물 기반 미세 패턴 형성
∘ 시뮬레이션을 이용한 패턴 형성 예측 전기수력학적 리소그래피를 통한 패턴복제과정을 정확하게 예측할 수 있는 컴퓨터 시뮬레이션 제작
■ 이종 패턴 복제(Hierarchical pattern replication) 및 대면적 어레이(array) 패턴 형성
∘ 대면적 나노와이어 성장을 위한 tem
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