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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경희대학교 Kyung Hee University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-05 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201500003023 |
과제고유번호 | 1345213421 |
사업명 | 일반연구자지원(교육부) |
DB 구축일자 | 2015-05-16 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201500003023 |
1) 1000℃에서 고운 환경에 견디는 고내열성 마이크로 엑스레이용 탄소나노튜브 에미터 제작 기술 개발
- 1000℃ air 분위기에서 10시간 열처리 후 에미터의 모양과 전류 방출 특성 변하지 않음
- 이는 RAP (resist assisted patterning)방법으로 제작된 카본나노튜브는 다중벽 카본나노튜브로 성장을하여 신뢰성있는 에미터로 제작이 가능. 또한 카본나노튜브 주위로 비정질 실리콘이 보호하고 있어 1000℃ 에서도 견딜 수 있는 에미터 임을 확인함.
- 본연구에서 제작된 카본나노튜브는 X-ray 튜
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