$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

반도체 세정장비의 효율을 높이는 IPA 농도측정 장치 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 인천대학교 산학협력단
University Of Incheon
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2014-10
과제시작연도 2013
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201500005424
과제고유번호 1425082950
사업명 도약기술개발사업
DB 구축일자 2015-06-06

초록

2. 개발내용 및 결과
• 전기 전도도에 기반을 둔 센서를 바탕으로 IPA 농도와 온도에 따른 전기 전도도간의 데이터 베이스 구축.
• 구축된 데이터 베이스를 바탕으로 전기 전도도를 IPA농도로 변환해 주는 기능과 SECS 통신 제어가 가능한 프로그램 구축.
• IPA 농도 데이터 베이스 및 변환 프로그램을 바탕으로 시작품 제작 및 제품 상품화. (제품 완성, 매뉴얼 완성, 카다로그 완성, 현재 시현 및 판촉 진행중)

목차 Contents

  • 개발 결과 의견서 ... 1
  • 최종 보고 요약서 ... 2
  • 최종보고서 작성순서 및 목차 ... 4
  • 제1장 서론 (기술개발의 취지 및 필요성) ... 5
  • 제1절 개발기술(또는 제품)의 개요 ... 5
  • 제2절 개발기술(또는 제품)의 필요성 ... 8
  • 제2장 과제개발 내용 및 방법 ... 9
  • 제1절 연구개발 목표 및 추진체계 ... 9
  • 제2절 과제개발 내용 및 방법 ... 11
  • 제3절 IPA 농도 측정 시스템 연구 개발 목표 달성 검증 ... 31
  • 제3장 사업성과 ... 35
  • 제1절 기술적 성과 ... 35
  • 제2절 경제적 성과 ... 36
  • 제3절 기타 성과 ... 37
  • 제4절 기술개발결과 활용계획 (향후 5년간) ... 38
  • 제4장 결론 ... 39
  • 제1절 사업 목표 성취 ... 39
  • 제2절 기술 개발(또는 제품 개발) 성과 ... 39
  • 제3절 향후 계획 ... 39
  • 별첨 1. 카탈로그 표지 ... 40
  • 별첨 1. 카탈로그 16쪽 ... 41
  • 별첨 2. IPA 농도 측정장치 매뉴얼 ... 42
  • 별첨 3. 농도측정기 개발 계획서 (드림시스) ... 81
  • 별첨 4. KCTech 실증 확인서 ... 96
  • 별첨 5. 페이퍼 증빙 (첫 페이지, 사사페이지) ... 97
  • 별첨 6. 랩컨설팅 신청서 ... 99
  • 끝페이지 ... 99

표/그림 (48)

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로