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NTIS 바로가기주관연구기관 | 에프엠엔지니어링 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-12 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500011710 |
과제고유번호 | 1425091776 |
사업명 | 중소기업R&D기획지원사업 |
DB 구축일자 | 2015-07-25 |
키워드 | 로터리 테이블.공기 베어링.에어 베어링 스핀들.에어 베어링 로터리테이블.에어 모터. |
□ 신청과제의 내용
신청기술은 에어베어링을 적용한 1㎛의 초정밀 연삭 가공이 가능한 로터리 테이블 개발에 관련된 기술이다. 신청기술로 구현된 연마 장치는 압축공기를 이용하여 흡착 또는 부상력을 부여하는 에어베어링을 사용하여 베어링의 마찰에 의한 열변형이 없어 기존의 웜기어를 사용한 로터리 테이블로는 구현할 수 없는 초정밀 가공이 가능하다. 신청기술의 수요처는 첨단 가공기술이 요구되는 반도체, LED 및 태양광 웨이퍼 평면가공, 랩핑 및 폴리싱 공정 등으로 첨단산업의 활용도가 높은 기술이다.
□ 기획결과
1.
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