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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)레이저앤피직스 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-05 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201500012312 |
과제고유번호 | 1425069795 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | 엑시머.압축 펄스.펄스 전원장치.커뮤테이터.고전압 전원공급기. |
□ 개발목표
▪ 계 획
반도체 노광용 엑시머 레이저 전원장치부의 고전압 압축펄스 발생장치인 Compression Head 모듈 및 고체 펄스 전원장치(SSPPM)개발
▪ 실 적
반도체 노광용 엑시머 레이저 전원장치부의 고전압 압축펄스 발생장치인 Compression Head 모듈 및 고체 펄스 전원장치 (SSPPM)개발
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 펄스 전압 : 계획 (10kV), 실적 (펄스 전압 10kV 이상)
2. 펄스 전류 : 계획 (10kA), 실적 (펄스 전류 10kA)
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