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Kafe 바로가기주관연구기관 | 대한고열공업(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500012344 |
과제고유번호 | 1425070087 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | 연속 소성기.세라믹 소성로.고집적 반도체 기판.무수축 세라믹.RHK. |
□개발목표
계 획
구간 별 다양한 소성 분위기 온도프로파일을 적용할 수 있는 RHK방식 고집적 세라믹 반도체 기판 제조용 연속 소성기술 및 장비 개발
실 적
고집적 반도체 기판용 RHK 연속 소성기 개발 완료
□정량적 목표항목 및 달성도
1. 온도균일도:계획(±2℃),실적(± 2℃(자체 성능 평가))
2. 최고 온도:계획(1300℃),실적(1300℃(자체 성능 평가))
3. 승온 속도:계획(80℃/min),실적(80℃/min(자체 성능 평가))
4. 이송제어 :계획(45mm/min),
□개발목표
계 획
구간 별 다양한 소성 분위기 온도프로파일을 적용할 수 있는 RHK방식 고집적 세라믹 반도체 기판 제조용 연속 소성기술 및 장비 개발
실 적
고집적 반도체 기판용 RHK 연속 소성기 개발 완료
□정량적 목표항목 및 달성도
1. 온도균일도:계획(±2℃),실적(± 2℃(자체 성능 평가))
2. 최고 온도:계획(1300℃),실적(1300℃(자체 성능 평가))
3. 승온 속도:계획(80℃/min),실적(80℃/min(자체 성능 평가))
4. 이송제어 :계획(45mm/min),실적(45mm/min(자체 성능 평가))
5. 공정이해도(형상 예측 유무),계획(유/무유),실적(유(자체 성능 평가))
6. 신뢰성 평가:계획(유/무),실적(유(자체 성능 평가))
□기대효과
- 세라믹 기판 무수축 제어 온도 프로파일 설계 및 형상 예측 가능
- 핵심 장비의 해외 의존도 개선
- 장비 설계 능력 개발 및 연구 역량 확대
- 고집적 반도체 기판 제조 시스템 핵심 원천 기술 확보
□적용분야
- LTCC HTCC MLCC등 고집적 세라믹 반도체 기판 제품 제조 공정
- 2차 전지 수요 증대에 따른 부품 무변형 제어 기반 연속 소성기술
- 세라믹 기반의 다양한 IT 부품 개발
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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