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NTIS 바로가기주관연구기관 | 이엔테크놀로지(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500012457 |
과제고유번호 | 1425069749 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | Magnetron Sputtering Impulse Power Supply. |
□개발목표
계 획
증착용 최대파워 20kW급 고주파 펄스 전원장치
- 고주파 펄스 전압/전류
( 800V, 50A, 350kHz )
실 적
증착용 최대파워 20kW급 고주파펄스 전원장치
- 고주파 펄스 전압/전류
( 800V, 50A, 350kHz )
□세부 개발내용 및 목표치
1. 최대 펄스 전력:계획(20kW),실적( 1. 최대 펄스 전력)
2. 아크 에너지:계획( 1mJ/kW),실적( 2. 아크 에너지)
3. 아크 차단 시간:계획( 1us),실적( 3. 아크
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