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NTIS 바로가기주관연구기관 | 엠케이프리시젼(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-07 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500013122 |
과제고유번호 | 1425079335 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | 압력무반응.질량유량제어기.유기금속화학증착법.발광다이오드.메탈실. |
□ 개발목표
계 획
LED와 반도체 생산에 사용되는 기체를 정밀제어하는 고성능 MFC의 개발
실 적
반도체용 압력무관 질량유량 제어기의 개발 및 제품화 완료
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 응답성 : 계획(≤1 Sec), 실적(≤1 Sec)
2. 압력 안정성 : 계획(≤ 1.5% of F.S.), 실적(≤ 1.5% of F.S.)
3. 정확성 : 계획(≤ 1% of S.P.), 실적(≤ 1% of S.P.)
4. 반복성 : 계획(≤ 0.2% of F.S.), 실적(≤ 0.2
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