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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기초과학지원연구원 Korea Basic Science Institute |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-08 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201500014296 |
과제고유번호 | 1425080188 |
사업명 | 연구장비활용기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-09-26 |
키워드 | 반도체소자.불량분석.결함검사.발열영상.온도분포. |
□ 개발목표
계 획
● 반도체소자 불량분석을 위한 고분해능, 고감도 발열영상 측정기술 개발
● 반도체소자 기판 후면(backside) 발열영상 측정기술 개발
● 정량적 온도분포 측정기술 개발
● 발열/미세패턴 융합영상 기술 개발
● 반도체소자 결함 검사장비 기술 개발
실 적
● 반도체소자 고분해능, 고감도 발열영상 측정을 위한 열반사현미경 기술 개발
● 반도체소자 기판 후면 발열영상 측정을 위한 근적외선 열반사현미경 기술 개발
● 열반사계수를 이용한 정량적 온도분포 측정기술 개발
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