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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-08 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500014350 |
과제고유번호 | 1425079992 |
사업명 | 연구장비활용기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-09-26 |
키워드 | 나노압입.기준시편.금속단결정.표면품질제어.X-선 회절. |
□ 개발목표
계 획
- 초고순도 결정 생산 및 X-선 분광 단결정 표면품질 제어
- 나노압입시험용 중/저경도 기준시편 2종 개발
실 적
- Cu정련 및 양산수급체계 확보하고, X선 이용 결정축/표면품질 확인
- 나노압입 기준시편 2종(W, Cu 단결정) 확보
□ 정량적 목표 항목 및 달성도
1. 기준시편 종류 : 계획(2(W/Cu)), 실적((100) W, Cu 2종 단결정 기준시편 및 Al 단결정시편 확보)
2. Cu 단결정 품질(순도/표면 이탈각도) : 계획(99.9999(
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