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NTIS 바로가기주관연구기관 | HS하이테크 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-01 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500014765 |
과제고유번호 | 1425083474 |
사업명 | 구매조건부신제품개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-09-26 |
키워드 | 미세 Nozzle.반도체 웨이퍼 세정.Piezo Nozzle Spray. |
□ 개발목표
계 획:
Nano Piezoelectric Head Spray 시스템 개발 및 제작 납품
실 적:
개발 완료 및 납품
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 노즐 설계
계획 : 내압 4MPa
실적 : 내압 5.5MPa 안정성 확보
2. 미세홀 가공
계획 : 직경 15㎛ 이하
실적 : 미세홀 직경: 12㎛ 가공
3. Piezo Actuator 적용
계획 : Mutlit 주파수
실적 :
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