초록 ▼

□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. EEP 순도
계획 : Min. 99.97
실적 : 99.97
2. 잔류 EtOH
계획 : Max. 0.01
실적 : <0.001
3. Color
계획 : 5 이하
실적 : 2
4. Acidity
계획 : Max. 200
실적 : 100
5. Water content
계획 : Max. 0.01
실적 : 0.01
6. Metal

□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. EEP 순도
계획 : Min. 99.97
실적 : 99.97
2. 잔류 EtOH
계획 : Max. 0.01
실적 : <0.001
3. Color
계획 : 5 이하
실적 : 2
4. Acidity
계획 : Max. 200
실적 : 100
5. Water content
계획 : Max. 0.01
실적 : 0.01
6. Metal
계획 : Max. 0.5
실적 : <0.5

□ 기대효과
반도체 제조공정에서 필수 물질로 투입되어야하는 물질인 EEP는 국산화가 절실하다. 전량 수입에 의존하는 EEP의 경우 원료수급의 불안정과 경제적인 합성법 개발의 어려움이 있으나 본 기술개발을 통해 국내생산이 가능하므로 안정적인 EEP 공급망을 확보하였다

□ 적용분야
반도체 제조공정에서 PR도포 후 노광공정 이후에 잔류하는 PR을 제거하기위해 PR의 세척용제로 사용할 수 있다. 아세테이트 계열의 순한 향으로 친환경 용제로서 페인트 희석제에 사용될 수 있다.

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 중소기업 기술개발사업 최종보고서 ... 2
• 제출문 ... 3
• 요약서(초 록) ... 4
• 목차 ... 5
• 제 1장 개발기술의 개요 ... 6
• 제 1 절 대상기술의 개요 및 개발 필요성 ... 6
• 1. 대상기술의 개요 ... 6
• 2. 개발 필요성 ... 7
• 3. 기술개발시 예상되는 효과 및 활용방안 ... 7
• 제 2 장 개발목표 및 개발내용 ... 9
• 제 1 절 기술개발 목표 ... 9
• 1. 기술개발의 최종목표 ... 9
• 2. 기술개발 내용 및 업무분장 ... 9
• 2. 기술개발 연구 ... 10
• 제 2 절 기술개발 내용 및 방법 ... 11
• 1. 세부 개발내용 ... 11
• 2. 세부 개발방법 ... 11
• 3. 수행기관별 업무분장 ... 13
• 4. 연구진행현황 ... 14
• 5. EEP 공인기관 시험성적서 ... 20
• 6. EEP 합성실험 data ... 21
• 제 3 장 성과요약 및 기대효과 ... 139
• 제 1 절 EEP 합성기술개발 성과요약 ... 139
• 1. EEP 합성기술개발의 성과 ... 139
• 2. EEP 합성 핵심기술 ... 139
• 제 2 절 EEP 합성기술개발 기대효과 ... 140
• 1. EEP 합성기술개발의 기대효과 ... 140
• 2. 결과활용 및 사업화방안 ... 141
• 끝페이지 ... 143